最新国产日韩一区二区-亚洲国产另类久久久精品-91一区视频在线观看-国产精品兄妹在线观看麻豆

網(wǎng)站首頁|在線留言|聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類
新品展示
您現(xiàn)在的位置：首頁 > 產(chǎn)品展示 > 材料分析設(shè)備 > 刻蝕機/剝離機/沖洗甩干機 > POLOS200/300/450POLOS系列沖洗甩干機

POLOS系列沖洗甩干機

簡要描述：

POLOS系列沖洗甩干機濕法刻蝕又稱為濕化學刻蝕法。它主要是借助刻蝕劑與待刻材料之間的化學反應(yīng)將待刻膜層溶解，以達到刻蝕的目的。濕法刻蝕一般被用于工藝流程前面的晶圓片準備、清洗等不涉及圖形的環(huán)節(jié)

打印當前頁

免費咨詢：86-010-81292798

發(fā)郵件給我們：1249587165@qq.com

分享到：

OLOS系列沖洗甩干機

適用工藝(包括但不限于下述濕法制程)

  光刻膠顯影

   SU8厚膠顯影

   顯影后清洗

   光刻機去除

   刻蝕微刻蝕處理

OLOS系列沖洗甩干機

系統(tǒng)參數(shù)表

 

POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段數(shù)：

無限制

無限制

無限制

   操作步數(shù)：

無限制

無限制

無限制

   旋轉(zhuǎn)速度：

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋轉(zhuǎn)精度：

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋轉(zhuǎn)方向:

順時針、逆時針、交換擺動

順時針，逆時針、交換擺動

順時針，逆時針、交換擺動

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm時取決于負載

   旋轉(zhuǎn)時間：

無限制*, ± 0.1S steps

無限制*, ± 0.1S steps

 

   基片范圍:

260mm 直徑or  6? 方片

360mm 直徑or  8? 方片

460 mm直徑or350mm方片

   腔體直徑：

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸：

OLOS系列沖洗甩干機

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7